反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
SAMCO RIE-10NR
簡介: RIE-10NR是一種新型的低成本、
高性能、全自動反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),
能夠滿足非腐蝕性氣體化學(xué)最苛刻
的工藝要求。
計(jì)算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編
程和存儲提供了用戶友好的界面。
該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確的側(cè)壁輪
廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。
憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計(jì),
RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。
應(yīng)用:
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、
砷化鎵、鉬、鉑、聚酰亞胺等材料的
腐蝕失效分析中的選擇性層腐蝕。
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主要功能和優(yōu)點(diǎn):
1、加工至ø220 mm(ø3“x 5,ø4”x 3,ø8”x 1)。
2、高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴(yán)格的工藝要求全自動“一鍵式”操作。
3、自動壓力控制,允許獨(dú)立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護(hù)。
4、于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個(gè)可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個(gè)系統(tǒng)。
主要參數(shù)規(guī)格:
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基板
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220 mm(ø3“x 5,ø4”x 3,ø8”x 1)
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負(fù)載
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開放式
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上下電極
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ø240 mm
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射頻功率
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300瓦@13.56兆赫,自動匹配(500瓦為選項(xiàng))
可切換射頻供電電極(陽極/陰極模式)為選項(xiàng)
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氣體管道
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內(nèi)部2條MFC控制的氣體管道(最多6條)
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泵
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干泵(500升/分鐘)
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操作系統(tǒng)
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觸摸屏操作(可選擇基于Windows的用戶界面)、配方管理
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端點(diǎn)檢測
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光學(xué)發(fā)射光譜(OES)作為一種選擇
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尺寸
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500 mm(寬)x 920 mm(深)x 1501 mm(高)
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